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為什么制造芯片最好的光刻機(jī)來自荷蘭而不是芯片大國美國,荷蘭是如何做到的?

作者:Anita 發(fā)布時(shí)間: 2022-05-30 12:38:20

簡介:】說到芯片,估計(jì)大家都知道是什么玩意,但說到光刻機(jī)很多人可能就不知道是什么東西了,光刻機(jī)就是制造芯片的機(jī)器設(shè)備,沒有光刻機(jī)芯片是沒法生產(chǎn)出來的,所以光刻機(jī)對(duì)于芯片制造業(yè)到底

說到芯片,估計(jì)大家都知道是什么玩意,但說到光刻機(jī)很多人可能就不知道是什么東西了,光刻機(jī)就是制造芯片的機(jī)器設(shè)備,沒有光刻機(jī)芯片是沒法生產(chǎn)出來的,所以光刻機(jī)對(duì)于芯片制造業(yè)到底有多重要大家都知道。

光刻機(jī)技術(shù)哪家強(qiáng)?

光刻機(jī)是生產(chǎn)大規(guī)模集成電路的核心設(shè)備,是制造和維護(hù)光學(xué)和電子工業(yè)的基礎(chǔ)。光刻機(jī)技術(shù)目前是世界上最尖端的技術(shù)之一,只有少量國家掌握,所以光刻機(jī)的價(jià)格是非常昂貴的,一臺(tái)高端的光刻機(jī)甚至可以賣到6億元左右(目前全球最貴的EUV光刻機(jī)單臺(tái)售價(jià)已經(jīng)超過6.3億元),即便賣這么貴還供不應(yīng)求,很多訂單都需要排隊(duì)生產(chǎn),甚至有部分國家給再多的錢也買不到。

對(duì)于這么尖端的技術(shù),按理來說那些芯片強(qiáng)國應(yīng)該是光刻機(jī)的制造強(qiáng)國才對(duì),但讓大家感到意外的是,目前世界上最好的光刻機(jī)不是來自美國,韓國,英國、日本等這些芯片強(qiáng)國,而是來自荷蘭。

目前在全球45納米以下高端光刻機(jī)市場當(dāng)中,荷蘭ASML市場占有率達(dá)到80%以上,而且目前ASML是全球唯一能夠達(dá)到7納米精度光刻機(jī)的提供商,所以ASML才是全球芯片業(yè)真正的超級(jí)霸主一點(diǎn)都不過分。正因?yàn)榈靡嬗诩夹g(shù)領(lǐng)先,目前ASML的市場份額也是很大的,目前全球知名芯片廠商包括英特爾、三星、臺(tái)積電、SK海力士、聯(lián)電、格芯、中芯國際、華虹宏力、華力微等等全球一線公司都是ASML的客戶。

比如2018年全球光刻機(jī)出貨量大概是600臺(tái)左右,其中荷蘭的ASML出貨量就達(dá)到了224臺(tái),出貨量占全球的比例達(dá)到30%以上。

為何荷蘭能誕生全球最頂尖的光刻機(jī)廠商?荷蘭的光刻機(jī)技術(shù)強(qiáng)大主要靠ASML,ASML成立于1984年,由飛利浦與先進(jìn)半導(dǎo)體材料國際(ASML)合資成立,總部位于荷蘭的費(fèi)爾德霍芬。1995年,ASML收購了菲利普持有的股份,稱為完全獨(dú)立的公司。

而ASML之所以能夠做到全球光刻機(jī)的霸主地位,我覺得主要有幾下幾個(gè)原因。

1、強(qiáng)大的研發(fā)投入

光刻機(jī)是一個(gè)高精尖的技術(shù),其技術(shù)難度是全球公認(rèn)的,如果沒有持續(xù)強(qiáng)大的研發(fā)投入根本不可能到技術(shù)領(lǐng)先。ASML從成立至今,對(duì)于研發(fā)的投入都非常大,比如2019年ASML的銷售額大概是21億歐元,而研發(fā)費(fèi)用支出就達(dá)到了4.8億歐元,研發(fā)費(fèi)用占營收的比例達(dá)到22.8%,這個(gè)比例是非常高的,正因?yàn)橛写罅抠Y金的投入,所以ASML在關(guān)鍵技術(shù)領(lǐng)域一直處于領(lǐng)先地位。

從1991年P(guān)AS 5000光刻機(jī)面市取得巨大成功開始,再到2000-2001年具有雙工作臺(tái)、浸沒式光刻技術(shù)的Twinscan XT、Twinscan NXT系列研制成功,到強(qiáng)大的研發(fā)投入讓ASML的技術(shù)一直處于全球領(lǐng)先。

2、美國以及歐盟的支持

雖然ASML是一家荷蘭公司,但他背后卻有著歐盟以及美國的力量,多關(guān)鍵技術(shù)都由美國以及歐盟國家提供。比如德國先進(jìn)的機(jī)械工藝以及世界級(jí)的蔡司鏡頭,再加上美國提供的光源,這就使得ASML公司在光科技術(shù)方面飛速發(fā)展,幾乎到達(dá)了無人能敵的境地。

因?yàn)楸澈笥忻绹牧α?,所以ASML一直以來都禁止向中國出口高端光刻機(jī),直到2018年這一情況才有所轉(zhuǎn)機(jī),2018年ASML同意向中國出口兩臺(tái)7納米的高端光刻機(jī),預(yù)計(jì)2019年交貨。而ASML之所以一反常態(tài)同意向中國出口高端光刻機(jī),一方面是因?yàn)橹袊诠饪虣C(jī)的一些關(guān)鍵技術(shù)上已經(jīng)取得了突破,另一方面是中國訪問團(tuán)訪問荷蘭的時(shí)候,給荷蘭帶去了巨大的訂單。

3、準(zhǔn)確抓住了技術(shù)轉(zhuǎn)折點(diǎn)

目前世界最頂尖的光刻機(jī)有三個(gè)廠家,分別是ASML,尼康和佳能。2007年之前這三大廠家其實(shí)并沒有太大的差距,競爭的轉(zhuǎn)折點(diǎn)是出現(xiàn)在2007年。2007年ASML配合臺(tái)積電的技術(shù)方向,推出了193納米的光源浸沒式系統(tǒng),在光學(xué)鏡頭和硅晶圓片導(dǎo)入液體作為介質(zhì),在原有光源與鏡頭的條件下,能顯著提升蝕刻精度,并成為高端科技的主流技術(shù)方案。而當(dāng)時(shí)日本的尼康與佳能卻主推157納米光源的干式光刻,這個(gè)路線后來被市場所放棄,也成為尼康跟佳能邁入衰退的一個(gè)轉(zhuǎn)折點(diǎn),后來才有了ASML的壟斷。

4、技術(shù)分工與合作

雖然ASML的研發(fā)人員占員工總數(shù)的比例達(dá)到4成左右,但是ASML很多技術(shù)都是外包,這樣可以讓ASML專注于核心技術(shù)與客戶需求,大大提高研發(fā)的效率。

5、對(duì)細(xì)分技術(shù)領(lǐng)域企業(yè)的控制

生產(chǎn)光刻機(jī)對(duì)技術(shù)的綜合要求非常高,這里面涉及很多技術(shù)領(lǐng)域,為了獲得全球最頂尖的技術(shù),ASML先后投資了很多企業(yè)。比如2007年收購了美國的Bion,強(qiáng)化了專業(yè)光刻檢測與解決方案能力;2013年完成對(duì)紫外光源龍頭 Cymene的收購,2016年獲得光學(xué)鏡片龍頭德國蔡司24.9%的股份,這兩項(xiàng)投資進(jìn)一步加強(qiáng)了ASML在極紫外光領(lǐng)域的領(lǐng)先優(yōu)勢。

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